ଭ୍ରମଣ ପରିସର
20 ମିମି
ସଂକଳ୍ପ
0.125μm
ପୁନରାବୃତ୍ତି |
＜1μm
ସରଳତା |
＜2μm
ସମାନ୍ତରାଳତା |
＜5μm
ପିଚ୍
10 ″（50μrad）
ୟାଭିଙ୍ଗ୍ |
ସର୍ବାଧିକ ଗତି
5 ମିମି/ ସେକେଣ୍ଡ୍
କ୍ଷମତା ଲୋଡ୍ କରନ୍ତୁ |
10 କିଲୋଗ୍ରାମ |
ଓଜନ
1.5 କିଲୋଗ୍ରାମ |
